远在1643年,意大利物理学家托里拆利发现,真空和自然空间有大气和大气压力存在。他将一根一端封闭的长玻璃管灌满汞,并倒立于汞槽中时,发现管中汞面下降,直至与管外的汞面相差76厘米时为止。托里拆利认为,玻璃管汞面上的空间是真空,76厘米高的汞柱是因为存在大气压力的缘故。
1650年,德国的奥托·冯·格里克制成活塞真空泵。1654年,他在马德堡进行了的马德堡半球试验:用真空泵将两个合在一起的、直径为14英寸(35.5厘米)的铜半球抽成真空,然后用两组各八匹马以相反方向拉拽铜球,始终未能将两半球分开。这个的试验又一次证明,空间有大气存在,且大气有巨大的压力。为了纪念托里拆利在科学上的重大发现和贡献,以往习用的真空压力单位就是用他的名字命名的。
19世纪中后期,英国工业革命的成功,促进了生产力和科学实验发展,同时也推动了真空技术的发展。1850年和1865年,先后发明了汞柱真空泵和汞滴真空泵,从而研制成了白炽灯泡(1879)、阴极射线管(1879)、杜瓦瓶(1893)和压缩式真空计(1874)。压缩式真空计的应用使低压力的测量成为可能。
20世纪初,真空电子管出现,促使真空技术向高真空发展。1935~1937年发明了气镇真空泵、油扩散泵和冷阴极电离计。这些成果和1906年制成的皮拉尼真空计至今仍为大多数真空系统所常用。
1940年以后,真空应用扩大到核研究(回旋加速器和同位素分离等)、真空冶金、真空镀膜和冷冻干燥等方面,真空技术开始成为一个独立的学科。第二次世界大战期间,原子物理试验的需要和通信对高质量电真空器件的需要,又进一步促进了真空技术的发展。
我国真空工业从诞生到经历了两个发展期:从20世纪50年代开始到20世纪80年代中期是个发展期,这一时期是从制造简单的抽气机开始的。当时全国生产真空设备的企业不足20家,产品以中低档真空获得设备为主,如制镜镀膜机香烟包装机等。从20世纪80年代后期到整个90年代是中国真空工业发展的第二个时期。这期间,生产企业增加到近3000家,从业人员达到3.5万人。整个真空行业经过“七五”、“八五”的技术改造后整体水平有了大幅提升,从加工条件上讲,加工中心数控机床、树脂砂铸件等先进生产设备开始装备企业。到1996年,由于炼镁行业的拉动,使真空行业得到飞速发展。
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